|
Диссертационная / докторская работа: Гомжин Иван Васильевич. Технологические процессы и реакторы плазмохимического травления микроструктур элементов СБИС : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 : Воронеж, 2003 208 c. РГБ ОД, 61:04-5/1609
Для получения возможности ознакомится с полным текстом данной работы необходимо подать заявку, заполнив представленную ниже форму:
Мы гарантируем ответ на заявку в течении 1 рабочего ЧАСА, если ответа не было, напишите нам письмо на наш адрес (info@lib.ua-ru.net) , возможно письмо не доставлено по техническим причинам.
|
