|
Диссертационная / докторская работа: Сергеева Жанна Михайловна. Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Москва, 1994 193 с. РГБ ОД, 61:94-5/873-2
Для получения возможности ознакомится с полным текстом данной работы необходимо подать заявку, заполнив представленную ниже форму:
Мы гарантируем ответ на заявку в течении 1 рабочего ЧАСА, если ответа не было, напишите нам письмо на наш адрес (info@lib.ua-ru.net) , возможно письмо не доставлено по техническим причинам.
|
