|
Диссертационная / докторская работа: Гришко Анна Сергеевна. Разработка основ технологии получения эпитаксиальных слоев кремния в системе SiH4-H2 на подложках цилиндрической формы : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Москва, 2005 136 с. РГБ ОД, 61:05-5/2875
Для получения возможности ознакомится с полным текстом данной работы необходимо подать заявку, заполнив представленную ниже форму:
Мы гарантируем ответ на заявку в течении 1 рабочего ЧАСА, если ответа не было, напишите нам письмо на наш адрес (info@lib.ua-ru.net) , возможно письмо не доставлено по техническим причинам.
|
