|
Диссертационная / докторская работа: Макаров Антон Сергеевич. Исследование нарушений структуры кремния, возникающих при химико-механическом полировании : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Москва, 2000 100 с. РГБ ОД, 61:01-5/1203-4
Для получения возможности ознакомится с полным текстом данной работы необходимо подать заявку, заполнив представленную ниже форму:
Мы гарантируем ответ на заявку в течении 1 рабочего ЧАСА, если ответа не было, напишите нам письмо на наш адрес (info@lib.ua-ru.net) , возможно письмо не доставлено по техническим причинам.
|
