|
Диссертационная работа: Ван Аймин. Исследование методов контроля параметров слоев в процессе осаждения многослойных систем : дис. ... канд. техн. наук : 05.11.07 СПб., 2006 119 с. РГБ ОД, 61:06-5/3832
Для получения доступа к полной информации по данной работе необходимо подать заявку, заполнив представленную ниже форму:
Ответ гарантируется в течении 10 минут.
|
