|
Диссертационная работа: Будянский Александр Михайлович. Оптимизация систем ионно- лучевого и плазмо- химического травления на базе высококчастотного разряда: Дис... канд. техн. наук: 05.11.21 / НАН Украины. - Х., 1997. - 194с.
Для получения доступа к полной информации по данной работе необходимо подать заявку, заполнив представленную ниже форму:
Ответ гарантируется в течении 10 минут.
|
